Rigaku lança o XTraia MF-3400, instrumento de medição para semicondutores de última geração

A Rigaku Corporation fornecedora global de soluções para sistemas analíticos de raios X e integrante do grupo Rigaku Holdings Corporation, lança o XTraia MF-3400, um instrumento destinado aos processos de fabricação de semicondutores que possibilita a medição da espessura e da composição de wafers. O instrumento, segundo a empresa, contribuirá de maneira substancial para o aumento da produtividade no mercado de semicondutores em rápida expansão, possibilitando a análise de alta precisão de materiais essenciais para a produção em larga escala de chips de memória de última geração e dispositivos de IA de alta velocidade.

Conforme a IA generativa e os data centers continuam a se expandir, cresce a procura por semicondutores de alto desempenho e eficiência energética, aptos a processar grandes volumes de dados. Consequentemente, as estruturas semicondutoras se tornam cada vez mais complexas, delicadas e tridimensionais, com um único chip integrando bilhões de componentes eletrônicos microscópicos.

A produção em grande escala estável destes dispositivos avançados exige tecnologias não destrutivas que possam medir e isolar filmes metálicos com precisão na escala nanométrica.

Para suprir essa demanda, a Rigaku aprimorou as tecnologias de raios X que vem desenvolvendo há décadas para criar o XTraia MF-3400. Entre suas recentes funcionalidades, possibilita a medição de molibdênio, um elemento que vem despertando interesse como um material inovador de próxima geração.

PRINCIPAIS CARACTERÍSTICAS  – Capacidade de medição até duas vezes maior que a dos dispositivos anteriores

– Ao duplicar a dose de raios X e integrar um novo sistema de transporte, o número de wafers mensuráveis por hora aumenta de maneira significativa.

– Medição não destrutiva com precisão nanométrica

– Em um campo tão estreito quanto 50 µm, menor que a largura de um fio de cabelo humano, o XTraia MF-3400 pode medir a espessura do filme com precisão subnanométrica, mais fina que a espessura de um único átomo.

– Múltiplas análises em um único dispositivo

O XTraia MF-3400 integra três funções analíticas, as quais empregam fluorescência de raios X, refletância de raios X e difração de raios X. A medição pode ser automatizada por meio do registro das condições ideais em receitas, adaptadas a objetivos, incluindo a estrutura de um filme ultrafino, espessura ou cristalinidade.

HISTÓRICO E PERSPECTIVAS – A Kioxia Corporation e a KIOXIA Iwate Corporation optaram por implementar o XTraia MF-3400 em linhas de produção em massa de memória flash 3D NAND. Espera-se também que o dispositivo seja utilizado na produção de memórias de nova geração, nas quais a alta capacidade e as altas taxas de transferência de dados são imprescindíveis, e a adoção na produção em massa é iminente.

Além disso, espera-se que os fabricantes de semicondutores DRAM e dos semicondutores lógicos também adotem o XTraia MF-3400. Combinando com o modelo anterior, a Rigaku prevê que as vendas líquidas ultrapassem 6 bilhões de ienes no ano fiscal de 2026.

Uma variedade de módulos pode ser selecionada para o XTraia MF-3400, adaptados a diferentes aplicações. Esta flexibilidade permite que cada fabricante construa o ambiente de medição ideal para seus processos de fabricação. Aproveitando esses pontos fortes em versatilidade e escalabilidade, a Rigaku prosseguirá com o desenvolvimento de aplicações em novos campos de materiais e processos, com o objetivo de alcançar um crescimento sustentável de 20% anualmente no exercício fiscal de 2027 e, posteriormente, para ambas as linhas de modelos. (foto/divulgação)